Поводом для посещения было начало производства микрочипов для новых электронных паспортов. До этого дня я был в Зеленограде дважды. В первый раз на производстве микроэлектронных устройств компании "Миландр". Второй раз на микроэлектронном производстве ЗНТЦ.
Все это здесь рядом, ходил вокруг да около цехов "Микрона",
но на крупнейший в России завод микроэлектроники удалось попасть только сейчас.
Источник:
Чипы для паспортов компания производит по технологии 90 нм, на пластинах 200 мм. Я напомню, что у компании есть и 65 нм, но этот техпроцесс здесь применяют мало, он скорее лишь дополнение к действительно массовому производству 180-90 нм. В микроэлектронике вообще с недавних пор выделилось 2 параллельных направления — 180-90 нм и 27-10 нм. Продукты, производимые по этим двум направлениям, практически не пересекаются, это разные продукты. Поэтому, те кто называют производство на Микроне устаревшим — неправы. Существует широкий перечень продуктов, которые нет смысла делать по более тонким техпроцессам, и эти продукты так же востребованы в мире. И Микрон здесь прочно занял свою нишу.
В прошлом году Микрон вышел на чистую прибыль в 584 миллиона рублей, а выручка превысила 10 миллиардов рублей. Причем, пятую часть составляет экспорт микросхем. Но отчеты - это скучно, в конце концов на сайте компании уже давно готов пресс-релиз.
Но давайте посмотрим на производство. Оно начинается с чистой комнаты, куда в специальных герметичных SMIF-контейнерах приходят кремневые пластины 200 мм.
Источник:
Контейнер с пластинами загружается в установки для той или иной операции, после чего переносится в новую установку, для других операций в соответствии с технологическим процессом. Таких операций сотни, тут одних только химикатов используется около трех десятков разных видов.
Источник:
Производство сложнейшее, тут сотни видов оборудования, а под ним еще и тысячи километров коммуникаций, проводов, труб. Контакт с человеком минимизируется, поэтому операции максимально автоматизированы, химические растворы поступают по одним трубам, отходы химических реакций отводятся по другим.
Причем если общими для всех операций является операции фотолитографии и травления, то потом маршруты пластин могут отличаться в зависимости от продукта. Так одна пластина проводит внутри чистой комнаты до нескольких месяцев, пока на ней не будет сформирован нужный продукт.
Источник:
После такого длительного путешествия пластина тестируется, режется на отдельные микросхемы и отправляется в третий цех на сборку.
В зависимости от назначения, сборка осуществляется на разном оборудовании. Для RFID меток используются роботизированные линии M?hlbauer.
Источник:
В них, в автоматическом режиме, микросхема RFID метки сажается на антенну. Антенны могут быть различной формы, поэтому установок несколько, что бы параллельно делать различные продукты
Источник:
Но, мы пришли посмотреть на новый чип для паспорта. Его сборка происходит на другом оборудовании в том же цехе. Сюда поступает уже готовая и разрезанная пластина, то есть каждый чип уже отделен от соседних.
Источник:
В оборудование загружается карта годности чипов, и согласно карте, манипулятор выбирает годные чипы и сажает их на трехрядную ленту.